在半导体装备领域,平博科技实现了细密棱镜模组的批量生产及紫外激光匀化器小批量生产;基于客户的定制化需求,将光学元件装配、集成为可实现特定光学性能的光学模组,主要应用于半导体装备光学系统。
细密光学系统是半导体装备的主要组成,笼罩半导体制造全流程,对于制造工艺以及良率控制有重大影响。我国正加速半导体装备国产替换历程,相关领域手艺、产物的研究开发及量产将为细密光学市chang带来更多的营业生长时机。
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